太阳能行业晶体生长

DIAS 红外测温仪在太阳能行业晶体生长中的应用
以晶圆生产为例,太阳能行业所需的晶体是在所谓的晶体生长炉内从熔体中拉制出来的。熔体通过缓慢冷却而结晶,从而启动晶体生长。在此过程中,测量熔体的温度至关重要,同时,控制工艺过程的加热元件温度也必须被测量——两者必须相互协调,才能保证最佳的晶体生长效果。
测量熔化温度时,采用 DIAS 的 10 系列、40 系列或 44 系列红外测温仪。其中 40 系列和 44 系列适用的型号为 PYROSPOT DS 40N​ 和 DS 44N,属于短波光谱红外测温仪,测量范围为 800 °C 至 2500 °C。根据系统类型的不同,也可以使用 PYROSPOT DSR 10N 型双色红外测温仪。此外,44 系列和 10 系列设备还具有总线兼容接口的优势,便于集成到现有的控制系统中。
晶体生长炉内生产的晶体正是太阳能行业晶圆制造所需的原料。为确保最佳的晶体生长过程,工艺过程中的温度必须准确可控,DIAS 制造的 PYROSPOT 红外测温仪能够胜任这一测量任务。
晶体生长过程中熔化温度与加热元件温度的量测,DIAS 开发了专门的 PYROSPOT 红外测温仪。
由于可用空间有限,测量加热温度时优先选用带有光纤和小型光学探头的红外测温仪。这类 PYROSPOT DSF 40N​ 和 DSF 44N​ 型测温仪的测量范围为 600 °C 至 1800 °C,小型光学探头的孔径仅为 12 mm。此外,也可选用带 90° 反射镜附件或弯曲光纤的光学部件。各种变体的测量光斑大小均仅为几毫米孔径。
晶体生长过程正是通过上述两类测量任务中不同 PYROSPOT 变体测温仪的最佳协同配合来实现监控的。

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